人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
1期
62-66,71
,共6页
郭颖楠%刘保亭%赵敬伟%王宽冒%王玉强%孙杰%陈剑辉
郭穎楠%劉保亭%趙敬偉%王寬冒%王玉彊%孫傑%陳劍輝
곽영남%류보정%조경위%왕관모%왕옥강%손걸%진검휘
退火工艺%PZT%磁控溅射法%溶胶-凝胶法
退火工藝%PZT%磁控濺射法%溶膠-凝膠法
퇴화공예%PZT%자공천사법%용효-응효법
annealing conditions%PZT%magnetron sputtering%sol-gel method
应用非晶的Ti-Al薄膜为导电阻挡层,采用射频磁控溅射法和溶胶-凝胶法在Si衬底上制备了La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3/Pb(Zr_(0.4),Ti_(0.6))O_3/La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3/Ti-Al/Si (LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si)异质结,研究了550 ℃常规退火(CTA)和快速退火(RTA)工艺对LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si结构和性能的影响.实验发现非晶Ti-Al薄膜在经过不同退火工艺后仍具有非晶结构,快速退火6 min的样品具有较好的物理性能.在418 kV/cm的外加电场下,LSCO/PZT/LSCO电容器的剩余极化强度和矫顽电场强度分别为22 μC/cm~2和83 kV/cm.LSCO/PZT/LSCO电容器的漏电行为不依赖于退火工艺,当电场强度低于46.7 kV/cm时为欧姆导电,高于46.7 kV/cm时为肖特基导电机制.
應用非晶的Ti-Al薄膜為導電阻擋層,採用射頻磁控濺射法和溶膠-凝膠法在Si襯底上製備瞭La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3/Pb(Zr_(0.4),Ti_(0.6))O_3/La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3/Ti-Al/Si (LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si)異質結,研究瞭550 ℃常規退火(CTA)和快速退火(RTA)工藝對LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si結構和性能的影響.實驗髮現非晶Ti-Al薄膜在經過不同退火工藝後仍具有非晶結構,快速退火6 min的樣品具有較好的物理性能.在418 kV/cm的外加電場下,LSCO/PZT/LSCO電容器的剩餘極化彊度和矯頑電場彊度分彆為22 μC/cm~2和83 kV/cm.LSCO/PZT/LSCO電容器的漏電行為不依賴于退火工藝,噹電場彊度低于46.7 kV/cm時為歐姆導電,高于46.7 kV/cm時為肖特基導電機製.
응용비정적Ti-Al박막위도전조당층,채용사빈자공천사법화용효-응효법재Si츤저상제비료La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3/Pb(Zr_(0.4),Ti_(0.6))O_3/La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3/Ti-Al/Si (LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si)이질결,연구료550 ℃상규퇴화(CTA)화쾌속퇴화(RTA)공예대LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si결구화성능적영향.실험발현비정Ti-Al박막재경과불동퇴화공예후잉구유비정결구,쾌속퇴화6 min적양품구유교호적물이성능.재418 kV/cm적외가전장하,LSCO/PZT/LSCO전용기적잉여겁화강도화교완전장강도분별위22 μC/cm~2화83 kV/cm.LSCO/PZT/LSCO전용기적루전행위불의뢰우퇴화공예,당전장강도저우46.7 kV/cm시위구모도전,고우46.7 kV/cm시위초특기도전궤제.
