人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
1期
34-38,43
,共6页
王振华%杨安丽%刘祥林%魏鸿源%焦春美%朱勤生%杨少延%王占国
王振華%楊安麗%劉祥林%魏鴻源%焦春美%硃勤生%楊少延%王佔國
왕진화%양안려%류상림%위홍원%초춘미%주근생%양소연%왕점국
ZnO%甲醇%MOCVD%生长温度
ZnO%甲醇%MOCVD%生長溫度
ZnO%갑순%MOCVD%생장온도
ZnO%methanol%MOCVD%growth temperature
利用甲醇做氧源,采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)工艺在硅(111)衬底上生长了一系列的氧化锌薄膜,生长温度为400～600 ℃.薄膜的表面形貌及晶体质量分别利用场发射扫描电镜及X射线衍射仪进行了测量.研究表明:随着生长温度的降低,在X射线衍射图谱中氧化锌(101)峰取代了(002)峰成为了主峰.这可能是由于温度过低使得甲醇未完全分解,而甲醇分子抑制了氧化锌沿c轴极性过快的生长所致.室温光致发光光谱结果表明在较高生长温度下获得的样品具有良好的光学性质,发光强度随着温度的降低而降低.
利用甲醇做氧源,採用金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)工藝在硅(111)襯底上生長瞭一繫列的氧化鋅薄膜,生長溫度為400～600 ℃.薄膜的錶麵形貌及晶體質量分彆利用場髮射掃描電鏡及X射線衍射儀進行瞭測量.研究錶明:隨著生長溫度的降低,在X射線衍射圖譜中氧化鋅(101)峰取代瞭(002)峰成為瞭主峰.這可能是由于溫度過低使得甲醇未完全分解,而甲醇分子抑製瞭氧化鋅沿c軸極性過快的生長所緻.室溫光緻髮光光譜結果錶明在較高生長溫度下穫得的樣品具有良好的光學性質,髮光彊度隨著溫度的降低而降低.
이용갑순주양원,채용금속유궤물화학기상침적(MOCVD)공예재규(111)츤저상생장료일계렬적양화자박막,생장온도위400～600 ℃.박막적표면형모급정체질량분별이용장발사소묘전경급X사선연사의진행료측량.연구표명:수착생장온도적강저,재X사선연사도보중양화자(101)봉취대료(002)봉성위료주봉.저가능시유우온도과저사득갑순미완전분해,이갑순분자억제료양화자연c축겁성과쾌적생장소치.실온광치발광광보결과표명재교고생장온도하획득적양품구유량호적광학성질,발광강도수착온도적강저이강저.
