材料保护
材料保護
재료보호
MATERIALS PROTECTION
2010年
2期
67-69
,共3页
张惠%许立坤%侯文涛%辛永磊%王均涛
張惠%許立坤%侯文濤%辛永磊%王均濤
장혜%허립곤%후문도%신영뢰%왕균도
X射线荧光%IrO_2%Ta_2O_5%氧化物阳极%厚度测量
X射線熒光%IrO_2%Ta_2O_5%氧化物暘極%厚度測量
X사선형광%IrO_2%Ta_2O_5%양화물양겁%후도측량
X-ray fluorescence%IrO_2%Ta_2O_5%oxide anode%determination of thickness
常规的光学显微镜和扫描电镜(SEM)检测为破坏性检测,且测量时间长,不便于现场应用于涂层厚度的测量.为此,制备了X射线荧光法(XRF)测量Ti/IrO_2-Ta_2O_5涂层厚度所需的校正标样,采用XRF测量了涂层的厚度,并与SEM测量的涂层厚度进行比较.结果表明:标样的涂层厚度和组分分布均匀;XRF测试中发射法比吸收法的灵敏度高,偏差小;XRF的测量结果与SEM的相近,偏差小,可靠度高.
常規的光學顯微鏡和掃描電鏡(SEM)檢測為破壞性檢測,且測量時間長,不便于現場應用于塗層厚度的測量.為此,製備瞭X射線熒光法(XRF)測量Ti/IrO_2-Ta_2O_5塗層厚度所需的校正標樣,採用XRF測量瞭塗層的厚度,併與SEM測量的塗層厚度進行比較.結果錶明:標樣的塗層厚度和組分分佈均勻;XRF測試中髮射法比吸收法的靈敏度高,偏差小;XRF的測量結果與SEM的相近,偏差小,可靠度高.
상규적광학현미경화소묘전경(SEM)검측위파배성검측,차측량시간장,불편우현장응용우도층후도적측량.위차,제비료X사선형광법(XRF)측량Ti/IrO_2-Ta_2O_5도층후도소수적교정표양,채용XRF측량료도층적후도,병여SEM측량적도층후도진행비교.결과표명:표양적도층후도화조분분포균균;XRF측시중발사법비흡수법적령민도고,편차소;XRF적측량결과여SEM적상근,편차소,가고도고.
