湖南工业大学学报
湖南工業大學學報
호남공업대학학보
JOURNAL OF HUNAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2013年
5期
13-17
,共5页
CrAlN/TiAlN纳米多层膜%磁控溅射%微结构%硬度%高温稳定性
CrAlN/TiAlN納米多層膜%磁控濺射%微結構%硬度%高溫穩定性
CrAlN/TiAlN납미다층막%자공천사%미결구%경도%고온은정성
采用磁控反应溅射法制备了不同调制周期的CrAlN/TiAlN纳米多层膜,并通过X射线衍射仪、显微硬度计、扫描电镜分析了调制周期对多层膜的微结构、力学性能和高温抗氧化性能的影响.结果表明:CrAlN/TiAlN纳米多层膜共格外延生长,呈现CrAlN(或TiAlN)面心立方结构,且呈(111)择优取向;CrAlN/TiAlN纳米多层膜在某些调制周期出现硬度异常升高的超硬度效应;CrAlN/TiAlN纳米多层膜比CrAlN,TiAlN单层膜具有更好的高温稳定性,高温时仍具有较高的硬度.
採用磁控反應濺射法製備瞭不同調製週期的CrAlN/TiAlN納米多層膜,併通過X射線衍射儀、顯微硬度計、掃描電鏡分析瞭調製週期對多層膜的微結構、力學性能和高溫抗氧化性能的影響.結果錶明:CrAlN/TiAlN納米多層膜共格外延生長,呈現CrAlN(或TiAlN)麵心立方結構,且呈(111)擇優取嚮;CrAlN/TiAlN納米多層膜在某些調製週期齣現硬度異常升高的超硬度效應;CrAlN/TiAlN納米多層膜比CrAlN,TiAlN單層膜具有更好的高溫穩定性,高溫時仍具有較高的硬度.
채용자공반응천사법제비료불동조제주기적CrAlN/TiAlN납미다층막,병통과X사선연사의、현미경도계、소묘전경분석료조제주기대다층막적미결구、역학성능화고온항양화성능적영향.결과표명:CrAlN/TiAlN납미다층막공격외연생장,정현CrAlN(혹TiAlN)면심립방결구,차정(111)택우취향;CrAlN/TiAlN납미다층막재모사조제주기출현경도이상승고적초경도효응;CrAlN/TiAlN납미다층막비CrAlN,TiAlN단층막구유경호적고온은정성,고온시잉구유교고적경도.
