航空兵器
航空兵器
항공병기
HANGKONG BINGQI
2009年
4期
42-44
,共3页
InSb焦平面探测器%ZnS%(NH4)2S%硫化
InSb焦平麵探測器%ZnS%(NH4)2S%硫化
InSb초평면탐측기%ZnS%(NH4)2S%류화
对N型(111)面的InSb衬底采用两种方法进行钝化处理;一种是直接溅射ZnS, 另一种是先用(NH4 )2S化学硫化, 然后溅射ZnS.C-V测试和器件性能测试表明, 在(NH4)2S溶液中进行化学硫化的方法能有效改善ZnS/InSb的界面, 这种方法能满足InSb焦平面器件的使用性能.本文还对不同的硫化方法及实验条件进行了对比实验.
對N型(111)麵的InSb襯底採用兩種方法進行鈍化處理;一種是直接濺射ZnS, 另一種是先用(NH4 )2S化學硫化, 然後濺射ZnS.C-V測試和器件性能測試錶明, 在(NH4)2S溶液中進行化學硫化的方法能有效改善ZnS/InSb的界麵, 這種方法能滿足InSb焦平麵器件的使用性能.本文還對不同的硫化方法及實驗條件進行瞭對比實驗.
대N형(111)면적InSb츤저채용량충방법진행둔화처리;일충시직접천사ZnS, 령일충시선용(NH4 )2S화학류화, 연후천사ZnS.C-V측시화기건성능측시표명, 재(NH4)2S용액중진행화학류화적방법능유효개선ZnS/InSb적계면, 저충방법능만족InSb초평면기건적사용성능.본문환대불동적류화방법급실험조건진행료대비실험.
