真空
真空
진공
VACUUM
2010年
1期
43-45
,共3页
铁氧体薄膜%界面结合强度%划痕法
鐵氧體薄膜%界麵結閤彊度%劃痕法
철양체박막%계면결합강도%화흔법
利用磁控溅射法在单硅晶基底和玻璃基底上沉积铁氧体薄膜,采用AFM观察薄膜的微观形貌,采用划痕法测试薄膜的界面结合强度,测试结果表明:由于两种不同材质上沉积的薄膜粗糙度缘故,硅晶铁氧体薄膜的临界载荷为19.7N,其划痕形貌为裂纹状扩展,玻璃/铁氧体薄膜的临界载荷为5.3N,其划痕形貌为剥落状.
利用磁控濺射法在單硅晶基底和玻璃基底上沉積鐵氧體薄膜,採用AFM觀察薄膜的微觀形貌,採用劃痕法測試薄膜的界麵結閤彊度,測試結果錶明:由于兩種不同材質上沉積的薄膜粗糙度緣故,硅晶鐵氧體薄膜的臨界載荷為19.7N,其劃痕形貌為裂紋狀擴展,玻璃/鐵氧體薄膜的臨界載荷為5.3N,其劃痕形貌為剝落狀.
이용자공천사법재단규정기저화파리기저상침적철양체박막,채용AFM관찰박막적미관형모,채용화흔법측시박막적계면결합강도,측시결과표명:유우량충불동재질상침적적박막조조도연고,규정철양체박막적림계재하위19.7N,기화흔형모위렬문상확전,파리/철양체박막적림계재하위5.3N,기화흔형모위박락상.
