原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2010年
1期
95-99
,共5页
谢军%邢丕峰%易泰民%杨蒙生%孙涛%袁光辉%郑凤成
謝軍%邢丕峰%易泰民%楊矇生%孫濤%袁光輝%鄭鳳成
사군%형비봉%역태민%양몽생%손도%원광휘%정봉성
双边多台阶靶%金刚石车削%冲击波%稳定性%平面性
雙邊多檯階靶%金剛石車削%遲擊波%穩定性%平麵性
쌍변다태계파%금강석차삭%충격파%은정성%평면성
two-sided multi-step target%diamond turning%shockwave%stability%planarity
多台阶靶是冲击波稳定性、平面性实验的重要实验用靶.本工作采用单点金刚石切削技术,优化工艺过程设计,完成了铝双边多台阶靶的制备.应用Veeco NT1100白光干涉仪对表面轮廓及粗糙度进行了测量.通过SPDT技术制备的具有微细双边结构的多台阶靶可满足实验要求.各台阶表面几何厚度误差小于1%,均方根粗糙度R_q小于50 nm,轮廓最大高度Tir仅在底部台阶处最大,约200 nm,其余台阶处均小于100 nm,台阶垂直度在90°±1°内.
多檯階靶是遲擊波穩定性、平麵性實驗的重要實驗用靶.本工作採用單點金剛石切削技術,優化工藝過程設計,完成瞭鋁雙邊多檯階靶的製備.應用Veeco NT1100白光榦涉儀對錶麵輪廓及粗糙度進行瞭測量.通過SPDT技術製備的具有微細雙邊結構的多檯階靶可滿足實驗要求.各檯階錶麵幾何厚度誤差小于1%,均方根粗糙度R_q小于50 nm,輪廓最大高度Tir僅在底部檯階處最大,約200 nm,其餘檯階處均小于100 nm,檯階垂直度在90°±1°內.
다태계파시충격파은정성、평면성실험적중요실험용파.본공작채용단점금강석절삭기술,우화공예과정설계,완성료려쌍변다태계파적제비.응용Veeco NT1100백광간섭의대표면륜곽급조조도진행료측량.통과SPDT기술제비적구유미세쌍변결구적다태계파가만족실험요구.각태계표면궤하후도오차소우1%,균방근조조도R_q소우50 nm,륜곽최대고도Tir부재저부태계처최대,약200 nm,기여태계처균소우100 nm,태계수직도재90°±1°내.
