真空
真空
진공
VACUUM
2010年
1期
1-6
,共6页
张涤新%赵澜%成永军%冯焱%宋瑞海
張滌新%趙瀾%成永軍%馮焱%宋瑞海
장조신%조란%성영군%풍염%송서해
气体微流量%气体微流量计%测量装置
氣體微流量%氣體微流量計%測量裝置
기체미류량%기체미류량계%측량장치
本文介绍了美国NIST、德国FIB、日本NMIJ、意大利IMGC、韩国KRISS、中国计量科学研究院NIM和国防科技工业真空一级计量站(兰州物理研究所LIP)的气体微流量测量技术的研究进展,并对其测量方法,测量装置性能指标进行了评述.
本文介紹瞭美國NIST、德國FIB、日本NMIJ、意大利IMGC、韓國KRISS、中國計量科學研究院NIM和國防科技工業真空一級計量站(蘭州物理研究所LIP)的氣體微流量測量技術的研究進展,併對其測量方法,測量裝置性能指標進行瞭評述.
본문개소료미국NIST、덕국FIB、일본NMIJ、의대리IMGC、한국KRISS、중국계량과학연구원NIM화국방과기공업진공일급계량참(란주물리연구소LIP)적기체미류량측량기술적연구진전,병대기측량방법,측량장치성능지표진행료평술.
