真空
真空
진공
VACUUM
2010年
1期
34-38
,共5页
陈勇%袁军林%段丽%杨雄%翁卫祥%郭太良
陳勇%袁軍林%段麗%楊雄%翁衛祥%郭太良
진용%원군림%단려%양웅%옹위상%곽태량
中频磁控反应溅射%氮化铝薄膜%沉积速率%晶体结构%表面粗糙度
中頻磁控反應濺射%氮化鋁薄膜%沉積速率%晶體結構%錶麵粗糙度
중빈자공반응천사%담화려박막%침적속솔%정체결구%표면조조도
采用中频磁控反应溅射工艺进行了氮化铝薄膜的制备,对沉积速率、晶体结构和表面形貌与氮气流量和溅射功率之间的变化关系进行了研究.结果表明,通过调节N2流量和溅射功率选择性地获得非晶态和沿着c轴方向择优生长的晶态AlN薄膜.在化合物沉积模式下,增加溅射功率和增加反应气体流量均有利于获得非晶态AlN薄膜,并且减小薄膜表面粗糙度,获得光滑的AlN薄膜,并采用薄膜生长原理对这种现象进行了解释.
採用中頻磁控反應濺射工藝進行瞭氮化鋁薄膜的製備,對沉積速率、晶體結構和錶麵形貌與氮氣流量和濺射功率之間的變化關繫進行瞭研究.結果錶明,通過調節N2流量和濺射功率選擇性地穫得非晶態和沿著c軸方嚮擇優生長的晶態AlN薄膜.在化閤物沉積模式下,增加濺射功率和增加反應氣體流量均有利于穫得非晶態AlN薄膜,併且減小薄膜錶麵粗糙度,穫得光滑的AlN薄膜,併採用薄膜生長原理對這種現象進行瞭解釋.
채용중빈자공반응천사공예진행료담화려박막적제비,대침적속솔、정체결구화표면형모여담기류량화천사공솔지간적변화관계진행료연구.결과표명,통과조절N2류량화천사공솔선택성지획득비정태화연착c축방향택우생장적정태AlN박막.재화합물침적모식하,증가천사공솔화증가반응기체류량균유리우획득비정태AlN박막,병차감소박막표면조조도,획득광활적AlN박막,병채용박막생장원리대저충현상진행료해석.
