CAJ | 학술논문

本研究提出了一种创新的P型表面掺杂工程技术,可专门应用于仿真程序时,优化布局中具交互指叉(interdigital)几何图案的器件结构内,不同区域的PN结反向击穿电压退化现象.如:超高压器件的源极中心(Source Center)、漏极中心(Drain Center)、或是平坦区(flat region).超高压器件的工艺中,PN结反向击穿电压的退化往往归咎于界面陷阱电荷(interface-trapped charge).而在硅晶圆阶段中,由于封装等级(package level)可靠度测试(reliability test)所带来的热应力,亦可使击穿电压退化与电流拥挤(current crowding)等现象浮现.因此,在优化的过程中,为了保有器件的高击穿电压特性,吾人藉由改变P型表面掺杂的二维几何设计,同时也利用静电放电测试(ESD test),来观察界面陷阱电荷,在器件遭受静电放电攻击后的分布变化.本研究最终针对具备最大长度结构(length structure)的P型表面掺杂,在击穿电压操作范围内,以及静电放电测试中,如何得到更佳的稳定性,作深入探讨.
본연구제출료일충창신적P형표면참잡공정기술,가전문응용우방진정서시,우화포국중구교호지차(interdigital)궤하도안적기건결구내,불동구역적PN결반향격천전압퇴화현상.여:초고압기건적원겁중심(Source Center)、루겁중심(Drain Center)、혹시평탄구(flat region).초고압기건적공예중,PN결반향격천전압적퇴화왕왕귀구우계면함정전하(interface-trapped charge).이재규정원계단중,유우봉장등급(package level)가고도측시(reliability test)소대래적열응력,역가사격천전압퇴화여전류옹제(current crowding)등현상부현.인차,재우화적과정중,위료보유기건적고격천전압특성,오인자유개변P형표면참잡적이유궤하설계,동시야이용정전방전측시(ESD test),래관찰계면함정전하,재기건조수정전방전공격후적분포변화.본연구최종침대구비최대장도결구(length structure)적P형표면참잡,재격천전압조작범위내,이급정전방전측시중,여하득도경가적은정성,작심입탐토.