分析化学
分析化學
분석화학
CHINESE JOURNAL OF ANALYTICAL CHEMISTRY
2013年
10期
1614-1619
,共6页
谭国斌%黄正旭%高伟%周振
譚國斌%黃正旭%高偉%週振
담국빈%황정욱%고위%주진
宽离子能量检测范围%电子轰击离子源%飞行时间质谱仪
寬離子能量檢測範圍%電子轟擊離子源%飛行時間質譜儀
관리자능량검측범위%전자굉격리자원%비행시간질보의
Ions with wide energies distribution%Electron impact source%Orthogonal acceleration time-of-flight mass spectrometer
本实验室研制了国内首台宽离子能量检测范围飞行时间质谱仪.仪器采用紧凑式电子轰击源设计,配合离子透镜系统有效的调制离子流,飞行时间质量分析器采用了离子垂直引入式,双场加速和双场反射以及大尺寸MCP检测装置设计.仪器单离子信号半峰宽约2 ns,仪器分辨率优于1600FWHM,检测实际样品质量范围为1～127 amu(仪器理论质量检测上限优于800 amu),可检测离子能量范围优于2个数量级(3～140 eV).若该TOF质量分析器与短瞬高压脉冲放电离子源耦合联用,可广泛应用于高能离子束的快速检测,如真空阴极放电对制备薄膜、离子注入材料的表征,导电材料的离子电荷态分布以及离子扩散速度的测定等.
本實驗室研製瞭國內首檯寬離子能量檢測範圍飛行時間質譜儀.儀器採用緊湊式電子轟擊源設計,配閤離子透鏡繫統有效的調製離子流,飛行時間質量分析器採用瞭離子垂直引入式,雙場加速和雙場反射以及大呎吋MCP檢測裝置設計.儀器單離子信號半峰寬約2 ns,儀器分辨率優于1600FWHM,檢測實際樣品質量範圍為1～127 amu(儀器理論質量檢測上限優于800 amu),可檢測離子能量範圍優于2箇數量級(3～140 eV).若該TOF質量分析器與短瞬高壓脈遲放電離子源耦閤聯用,可廣汎應用于高能離子束的快速檢測,如真空陰極放電對製備薄膜、離子註入材料的錶徵,導電材料的離子電荷態分佈以及離子擴散速度的測定等.
본실험실연제료국내수태관리자능량검측범위비행시간질보의.의기채용긴주식전자굉격원설계,배합리자투경계통유효적조제리자류,비행시간질량분석기채용료리자수직인입식,쌍장가속화쌍장반사이급대척촌MCP검측장치설계.의기단리자신호반봉관약2 ns,의기분변솔우우1600FWHM,검측실제양품질량범위위1～127 amu(의기이론질량검측상한우우800 amu),가검측리자능량범위우우2개수량급(3～140 eV).약해TOF질량분석기여단순고압맥충방전리자원우합련용,가엄범응용우고능리자속적쾌속검측,여진공음겁방전대제비박막、리자주입재료적표정,도전재료적리자전하태분포이급리자확산속도적측정등.
