CAJ | 학술논문

采用准连续介质多尺度方法,模拟铜薄膜的纳米压痕变形过程,为了研究晶界在纳米压痕中的效应,分别计算单层和双层薄膜两种情况,得到载荷-位移响应曲线.加载过程中,对薄膜内部变形比较剧烈的部分画出原子图,从微观角度分析产生剧烈变形的原因,对比两种情况下微观机理的不同.结果表明,在单层薄膜的压痕中,位错在压头左右两边的正下方-45(A)处分别成核,随着加载的进行,在薄膜内部-130(A)处第二次成核;在双层薄膜压痕中,位错同样在-45(A)处成核,随着加载的进行向下移动,终止在晶界处,没有出现第二次成核;对比两种情况发现,晶界对薄膜的硬度影响不是很大,而对薄膜的应变能变化影响显著.
채용준련속개질다척도방법,모의동박막적납미압흔변형과정,위료연구정계재납미압흔중적효응,분별계산단층화쌍층박막량충정황,득도재하-위이향응곡선.가재과정중,대박막내부변형비교극렬적부분화출원자도,종미관각도분석산생극렬변형적원인,대비량충정황하미관궤리적불동.결과표명,재단층박막적압흔중,위착재압두좌우량변적정하방-45(A)처분별성핵,수착가재적진행,재박막내부-130(A)처제이차성핵;재쌍층박막압흔중,위착동양재-45(A)처성핵,수착가재적진행향하이동,종지재정계처,몰유출현제이차성핵;대비량충정황발현,정계대박막적경도영향불시흔대,이대박막적응변능변화영향현저.