中国仪器仪表
中國儀器儀錶
중국의기의표
CHINA INSTRUMENTATION
2010年
4期
54-56
,共3页
微型机电系统%微型电感耦合等离子体激发源%微型Fabry-Perot光谱仪%微型气体分析仪
微型機電繫統%微型電感耦閤等離子體激髮源%微型Fabry-Perot光譜儀%微型氣體分析儀
미형궤전계통%미형전감우합등리자체격발원%미형Fabry-Perot광보의%미형기체분석의
介绍一种新的原子发射光谱微型电感耦合等离子体(ICP)激发源,阐述这种激发源的结构、性能及其在光谱仪中的应用,它与平面结构的微型Fabry-Perot光谱仪联用可以作为微型气体分析仪使用.并简要介绍作者研制的在较低的13.56MHz下工作的微型ICP激发源.展望随着MEMS技术的发展,微型光谱仪的应用前景.
介紹一種新的原子髮射光譜微型電感耦閤等離子體(ICP)激髮源,闡述這種激髮源的結構、性能及其在光譜儀中的應用,它與平麵結構的微型Fabry-Perot光譜儀聯用可以作為微型氣體分析儀使用.併簡要介紹作者研製的在較低的13.56MHz下工作的微型ICP激髮源.展望隨著MEMS技術的髮展,微型光譜儀的應用前景.
개소일충신적원자발사광보미형전감우합등리자체(ICP)격발원,천술저충격발원적결구、성능급기재광보의중적응용,타여평면결구적미형Fabry-Perot광보의련용가이작위미형기체분석의사용.병간요개소작자연제적재교저적13.56MHz하공작적미형ICP격발원.전망수착MEMS기술적발전,미형광보의적응용전경.
