机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2013年
17期
59-64
,共6页
陈逢军%尹韶辉%胡天%余剑武
陳逢軍%尹韶輝%鬍天%餘劍武
진봉군%윤소휘%호천%여검무
单点斜轴磨削%误差补偿%光学模具%微小非球面%碳化钨
單點斜軸磨削%誤差補償%光學模具%微小非毬麵%碳化鎢
단점사축마삭%오차보상%광학모구%미소비구면%탄화오
Single-point Inclined-axis grinding%Error compensation%Optical mold Small aspheric%Tungsten carbide
针对微小非球面光学透镜模具的纳米单点斜轴误差补偿磨削进行研究.通过分析比较传统的直交轴磨削法,提出微小非曲面光学模具的单点斜轴磨削方式,有效避免微细砂轮在加工微小非球面时发生干涉情况;采用单点恒定磨削方式提高微小非球面磨削的稳定性及精度.通过分析磨削区域内微细砂轮与微小非球面的干涉情况,从而合理计算并选用较高强度的微细砂轮.提出微小非球面误差补偿磨削策略,分析砂轮的对心误差(x轴向和y轴向)对形状精度的影响,采用法向残余误差补偿的方法对加工后的形状误差进行超精密补偿磨削.利用超精密磨床对口径为2mm的超硬热压模具碳化钨材料的微小非球面进行纳米单点斜轴误差补偿磨削试验,经过三次超精密磨削及误差补偿循环,其形状精度PV从l 034 nm改善至146 nm,表面粗糙度达到Ra2.19 nm.
針對微小非毬麵光學透鏡模具的納米單點斜軸誤差補償磨削進行研究.通過分析比較傳統的直交軸磨削法,提齣微小非麯麵光學模具的單點斜軸磨削方式,有效避免微細砂輪在加工微小非毬麵時髮生榦涉情況;採用單點恆定磨削方式提高微小非毬麵磨削的穩定性及精度.通過分析磨削區域內微細砂輪與微小非毬麵的榦涉情況,從而閤理計算併選用較高彊度的微細砂輪.提齣微小非毬麵誤差補償磨削策略,分析砂輪的對心誤差(x軸嚮和y軸嚮)對形狀精度的影響,採用法嚮殘餘誤差補償的方法對加工後的形狀誤差進行超精密補償磨削.利用超精密磨床對口徑為2mm的超硬熱壓模具碳化鎢材料的微小非毬麵進行納米單點斜軸誤差補償磨削試驗,經過三次超精密磨削及誤差補償循環,其形狀精度PV從l 034 nm改善至146 nm,錶麵粗糙度達到Ra2.19 nm.
침대미소비구면광학투경모구적납미단점사축오차보상마삭진행연구.통과분석비교전통적직교축마삭법,제출미소비곡면광학모구적단점사축마삭방식,유효피면미세사륜재가공미소비구면시발생간섭정황;채용단점항정마삭방식제고미소비구면마삭적은정성급정도.통과분석마삭구역내미세사륜여미소비구면적간섭정황,종이합리계산병선용교고강도적미세사륜.제출미소비구면오차보상마삭책략,분석사륜적대심오차(x축향화y축향)대형상정도적영향,채용법향잔여오차보상적방법대가공후적형상오차진행초정밀보상마삭.이용초정밀마상대구경위2mm적초경열압모구탄화오재료적미소비구면진행납미단점사축오차보상마삭시험,경과삼차초정밀마삭급오차보상순배,기형상정도PV종l 034 nm개선지146 nm,표면조조도체도Ra2.19 nm.
