机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2013年
17期
19-25
,共7页
王春锦%郭隐彪%王振忠%潘日%谢银辉
王春錦%郭隱彪%王振忠%潘日%謝銀輝
왕춘금%곽은표%왕진충%반일%사은휘
光学元件%气囊抛光%去除函数%建模%Preston方程
光學元件%氣囊拋光%去除函數%建模%Preston方程
광학원건%기낭포광%거제함수%건모%Preston방정
Optics elements%Bonnet tool polishing%Removal function%Modeling%Preston function
目前对于光学元件气囊抛光系统驻留时间的求解都是基于静态的去除函数,然而实际抛光过程中,抛光头不断地移动,故对于动态去除函数的研究显得尤为必要.通过有限元仿真分析的方法得到动静态接触区的轮廓和接触应力分布数据,发现对于平面工件,动静态接触区均为圆形,而且大小基本一致,且动态接触区应力分布与静态接触区应力分布相比,其峰值点沿抛光头移动的相反方向偏移.在此基础上,根据静态接触区应力呈类高斯分布的理论,利用最小二乘拟合的方法,推导出动态接触区的应力分布函数.通过搭建动静态接触区轮廓提取装置,设计不同下压量下动静态接触区的轮廓提取试验,验证有限元仿真结果的准确性.基于仿真和试验结果推导出动态去除函数,对其进行数值仿真,并与静态去除函数进行对比,发现前者去除率偏小,而且最低点也发生偏移.
目前對于光學元件氣囊拋光繫統駐留時間的求解都是基于靜態的去除函數,然而實際拋光過程中,拋光頭不斷地移動,故對于動態去除函數的研究顯得尤為必要.通過有限元倣真分析的方法得到動靜態接觸區的輪廓和接觸應力分佈數據,髮現對于平麵工件,動靜態接觸區均為圓形,而且大小基本一緻,且動態接觸區應力分佈與靜態接觸區應力分佈相比,其峰值點沿拋光頭移動的相反方嚮偏移.在此基礎上,根據靜態接觸區應力呈類高斯分佈的理論,利用最小二乘擬閤的方法,推導齣動態接觸區的應力分佈函數.通過搭建動靜態接觸區輪廓提取裝置,設計不同下壓量下動靜態接觸區的輪廓提取試驗,驗證有限元倣真結果的準確性.基于倣真和試驗結果推導齣動態去除函數,對其進行數值倣真,併與靜態去除函數進行對比,髮現前者去除率偏小,而且最低點也髮生偏移.
목전대우광학원건기낭포광계통주류시간적구해도시기우정태적거제함수,연이실제포광과정중,포광두불단지이동,고대우동태거제함수적연구현득우위필요.통과유한원방진분석적방법득도동정태접촉구적륜곽화접촉응력분포수거,발현대우평면공건,동정태접촉구균위원형,이차대소기본일치,차동태접촉구응력분포여정태접촉구응력분포상비,기봉치점연포광두이동적상반방향편이.재차기출상,근거정태접촉구응력정류고사분포적이론,이용최소이승의합적방법,추도출동태접촉구적응력분포함수.통과탑건동정태접촉구륜곽제취장치,설계불동하압량하동정태접촉구적륜곽제취시험,험증유한원방진결과적준학성.기우방진화시험결과추도출동태거제함수,대기진행수치방진,병여정태거제함수진행대비,발현전자거제솔편소,이차최저점야발생편이.
