上海有色金属
上海有色金屬
상해유색금속
SHANGHAI NONFERROUS METALS
2013年
2期
59-62
,共4页
张平%李晨%陈焘%王多书
張平%李晨%陳燾%王多書
장평%리신%진도%왕다서
透射光谱%硅碳氧薄膜%光学常数
透射光譜%硅碳氧薄膜%光學常數
투사광보%규탄양박막%광학상수
硅碳氧薄膜是一种含有Si、C和O三种元素的玻璃状化合物材料,同时拥有碳化硅薄膜及氧化硅薄膜多种优异的特性,如热稳定性好、能带宽、折射率大、硬度高和热导率高等,是一种具有潜在应用价值的新颖光学薄膜.基于硅碳氧薄膜的紫外/可见/近红外透射光谱,采用Swanepoel极值包络线法,结合WDD色散模型,建立了一套精确、方便并适合于计算硅碳氧薄膜光学常数的方法.方便地获得了硅碳氧薄膜折射率、厚度等光学常数.并将厚度计算结果与实际测量值进行了比较.结果表明,试验中研究硅碳氧薄膜光学常数所采用的方法是合理的,能够准确地获得硅碳氧薄膜的折射率及厚度等光学常数.
硅碳氧薄膜是一種含有Si、C和O三種元素的玻璃狀化閤物材料,同時擁有碳化硅薄膜及氧化硅薄膜多種優異的特性,如熱穩定性好、能帶寬、摺射率大、硬度高和熱導率高等,是一種具有潛在應用價值的新穎光學薄膜.基于硅碳氧薄膜的紫外/可見/近紅外透射光譜,採用Swanepoel極值包絡線法,結閤WDD色散模型,建立瞭一套精確、方便併適閤于計算硅碳氧薄膜光學常數的方法.方便地穫得瞭硅碳氧薄膜摺射率、厚度等光學常數.併將厚度計算結果與實際測量值進行瞭比較.結果錶明,試驗中研究硅碳氧薄膜光學常數所採用的方法是閤理的,能夠準確地穫得硅碳氧薄膜的摺射率及厚度等光學常數.
규탄양박막시일충함유Si、C화O삼충원소적파리상화합물재료,동시옹유탄화규박막급양화규박막다충우이적특성,여열은정성호、능대관、절사솔대、경도고화열도솔고등,시일충구유잠재응용개치적신영광학박막.기우규탄양박막적자외/가견/근홍외투사광보,채용Swanepoel겁치포락선법,결합WDD색산모형,건립료일투정학、방편병괄합우계산규탄양박막광학상수적방법.방편지획득료규탄양박막절사솔、후도등광학상수.병장후도계산결과여실제측량치진행료비교.결과표명,시험중연구규탄양박막광학상수소채용적방법시합리적,능구준학지획득규탄양박막적절사솔급후도등광학상수.
