山东建筑大学学报
山東建築大學學報
산동건축대학학보
JOURNAL OF SHANDONG JIANZHU UNIVERSITY
2013年
1期
42-45
,共4页
宋红莲%王凤翔%陈志华%孙舒宁
宋紅蓮%王鳳翔%陳誌華%孫舒寧
송홍련%왕봉상%진지화%손서저
磁控溅射技术%铒镱掺杂氧化锌%氧氩比%石英%蓝宝石
磁控濺射技術%鉺鐿摻雜氧化鋅%氧氬比%石英%藍寶石
자공천사기술%이의참잡양화자%양아비%석영%람보석
氧化锌作为一种良好的发光材料广泛应用于太阳能电池、气敏传感器、紫外探测器、光电器件、透明电极等诸多领域.文章应用磁控溅射技术制备铒镱掺杂的氧化锌薄膜,利用X射线(XRD)和棱镜耦合技术,分析研究了氧氩比对铒镱掺杂的氧化锌薄膜的结构和光波导特性的影响.结果表明:氧氩比对薄膜的结构和光波导特性有重要影响,当氧氩比为2:16时,薄膜的衍射峰的强度较大,半高宽(FWHM)较窄,有效折射率接近ZnO薄膜的折射率,降低氧氩比有利于增强薄膜的c轴择优取向.
氧化鋅作為一種良好的髮光材料廣汎應用于太暘能電池、氣敏傳感器、紫外探測器、光電器件、透明電極等諸多領域.文章應用磁控濺射技術製備鉺鐿摻雜的氧化鋅薄膜,利用X射線(XRD)和稜鏡耦閤技術,分析研究瞭氧氬比對鉺鐿摻雜的氧化鋅薄膜的結構和光波導特性的影響.結果錶明:氧氬比對薄膜的結構和光波導特性有重要影響,噹氧氬比為2:16時,薄膜的衍射峰的彊度較大,半高寬(FWHM)較窄,有效摺射率接近ZnO薄膜的摺射率,降低氧氬比有利于增彊薄膜的c軸擇優取嚮.
양화자작위일충량호적발광재료엄범응용우태양능전지、기민전감기、자외탐측기、광전기건、투명전겁등제다영역.문장응용자공천사기술제비이의참잡적양화자박막,이용X사선(XRD)화릉경우합기술,분석연구료양아비대이의참잡적양화자박막적결구화광파도특성적영향.결과표명:양아비대박막적결구화광파도특성유중요영향,당양아비위2:16시,박막적연사봉적강도교대,반고관(FWHM)교착,유효절사솔접근ZnO박막적절사솔,강저양아비유리우증강박막적c축택우취향.
