光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2013年
1期
283-286
,共4页
刘震%高劲松%陈波%王彤彤%王笑夷%申振峰%陈红
劉震%高勁鬆%陳波%王彤彤%王笑夷%申振峰%陳紅
류진%고경송%진파%왕동동%왕소이%신진봉%진홍
极紫外%多层膜反射镜%磁控溅射%反射率%等离子体层
極紫外%多層膜反射鏡%磁控濺射%反射率%等離子體層
겁자외%다층막반사경%자공천사%반사솔%등리자체층
月基极紫外相机用于月球表面对地球等离子体层辐射出的30.4 nm谱线进行成像观测,多层膜反射镜是月基极紫外相机的重要光学元件.根据月基极紫外相机技术参数,选择了B4C/Mg,B4C/Mg2Si,B4C/Al,B4C/Si,Mo/Si等材料,对其周期厚度、材料比例、周期数等参数进行优化.计算了以上材料组合在30.4 nm的反射率曲线.考虑到月球环境的特殊性和材料的物理化学性质,从中选择出Mo/Si和B4C/Si两种组合,利用磁控溅射进行镀制.Mo/Si和B4C/Si多层膜在30.4 nm反射率分别达到15.3％和22.8％.
月基極紫外相機用于月毬錶麵對地毬等離子體層輻射齣的30.4 nm譜線進行成像觀測,多層膜反射鏡是月基極紫外相機的重要光學元件.根據月基極紫外相機技術參數,選擇瞭B4C/Mg,B4C/Mg2Si,B4C/Al,B4C/Si,Mo/Si等材料,對其週期厚度、材料比例、週期數等參數進行優化.計算瞭以上材料組閤在30.4 nm的反射率麯線.攷慮到月毬環境的特殊性和材料的物理化學性質,從中選擇齣Mo/Si和B4C/Si兩種組閤,利用磁控濺射進行鍍製.Mo/Si和B4C/Si多層膜在30.4 nm反射率分彆達到15.3％和22.8％.
월기겁자외상궤용우월구표면대지구등리자체층복사출적30.4 nm보선진행성상관측,다층막반사경시월기겁자외상궤적중요광학원건.근거월기겁자외상궤기술삼수,선택료B4C/Mg,B4C/Mg2Si,B4C/Al,B4C/Si,Mo/Si등재료,대기주기후도、재료비례、주기수등삼수진행우화.계산료이상재료조합재30.4 nm적반사솔곡선.고필도월구배경적특수성화재료적물이화학성질,종중선택출Mo/Si화B4C/Si량충조합,이용자공천사진행도제.Mo/Si화B4C/Si다층막재30.4 nm반사솔분별체도15.3％화22.8％.
