粉末冶金工业
粉末冶金工業
분말야금공업
POWDER METALLURGY INDUSTRY
2014年
2期
38-43
,共6页
梁俊才%穆健刚%张凤戈%周武平%赵海波
樑俊纔%穆健剛%張鳳戈%週武平%趙海波
량준재%목건강%장봉과%주무평%조해파
硬质涂层%靶材%溅射%弧蒸发
硬質塗層%靶材%濺射%弧蒸髮
경질도층%파재%천사%호증발
hard coatings%target materials%sputtering%arc evaporation
镀膜靶材作为物理气相沉积方法制备薄膜的沉积源材料,广泛应用于机械加工、半导体集成电路、磁记录和平面显示等产业中.在机械加工产业中,硬质涂层提高了部件的机械加工效率、延长了部件的使用寿命,具有很高的经济效益.物理气相沉积过程中,镀膜靶材以溅射或弧蒸发的方式制备硬质涂层,其质量好坏将直接影响硬质涂层的物理及力学性能,是涂层技术的重要组成部分.本文对用于制备硬质涂层镀膜靶材的种类、技术要求、制备方法和研究现状做了概述.
鍍膜靶材作為物理氣相沉積方法製備薄膜的沉積源材料,廣汎應用于機械加工、半導體集成電路、磁記錄和平麵顯示等產業中.在機械加工產業中,硬質塗層提高瞭部件的機械加工效率、延長瞭部件的使用壽命,具有很高的經濟效益.物理氣相沉積過程中,鍍膜靶材以濺射或弧蒸髮的方式製備硬質塗層,其質量好壞將直接影響硬質塗層的物理及力學性能,是塗層技術的重要組成部分.本文對用于製備硬質塗層鍍膜靶材的種類、技術要求、製備方法和研究現狀做瞭概述.
도막파재작위물리기상침적방법제비박막적침적원재료,엄범응용우궤계가공、반도체집성전로、자기록화평면현시등산업중.재궤계가공산업중,경질도층제고료부건적궤계가공효솔、연장료부건적사용수명,구유흔고적경제효익.물리기상침적과정중,도막파재이천사혹호증발적방식제비경질도층,기질량호배장직접영향경질도층적물리급역학성능,시도층기술적중요조성부분.본문대용우제비경질도층도막파재적충류、기술요구、제비방법화연구현상주료개술.