CAJ | 학술논문

光学显微检测在半导体探测器研制的多个环节具有重要意义.利用较低价单元、部件组装了一套数字影像光学显微系统,性能与国外中档产品相当,性价比卓越.该系统拥有微机控制的高清晰数字摄影装置,配置大屏幕监视器,搭载高倍干系物镜,分辨率达到0.2μm,可以进行明暗场、偏光、干涉观测.它可以方便的用于缺陷、沾污控制,图形检测,表面光洁度检验,材料鉴定等方面,还可用于测试、封装、修理等精细操作.通过观察焊点的表面形貌,钎料合金的显微结构,可以鉴定焊点质量.如果结合多光束干涉技术可用于表面起伏的精细测量.论文叙述了该系统在半导体探测器研制上的应用,详述了其建造细节.
광학현미검측재반도체탐측기연제적다개배절구유중요의의.이용교저개단원、부건조장료일투수자영상광학현미계통,성능여국외중당산품상당,성개비탁월.해계통옹유미궤공제적고청석수자섭영장치,배치대병막감시기,탑재고배간계물경,분변솔체도0.2μm,가이진행명암장、편광、간섭관측.타가이방편적용우결함、첨오공제,도형검측,표면광길도검험,재료감정등방면,환가용우측시、봉장、수리등정세조작.통과관찰한점적표면형모,천료합금적현미결구,가이감정한점질량.여과결합다광속간섭기술가용우표면기복적정세측량.논문서술료해계통재반도체탐측기연제상적응용,상술료기건조세절.