光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2009年
10期
94-99
,共6页
隋成华%郑东%刘玉玲%蔡萍根%许晓军
隋成華%鄭東%劉玉玲%蔡萍根%許曉軍
수성화%정동%류옥령%채평근%허효군
ZnO薄膜%蓝宝石光纤%光学吸收边%光纤温度传感器
ZnO薄膜%藍寶石光纖%光學吸收邊%光纖溫度傳感器
ZnO박막%람보석광섬%광학흡수변%광섬온도전감기
采用电子束蒸发的方法在蓝宝石光纤端面上生长ZnO薄膜,不同测试温度下透射光谱表明:ZnO薄膜的光学吸收边随温度的升高呈明显的红移.根据ZnO薄膜的光学吸收边所呈现的这一负温度效应,研制了基于ZnO薄膜温变特性的透射式光纤温度传感器.实验表明,在室温至500℃测温范围内其灵敏度优于0.05 nm/℃.该光纤温度传感器的测温范围理论上可从负温区(约-260℃)至高温区(约700℃).与其他传统的温度传感器相比,该温度传感器具有结构简单,成本较低,测量稳定性高和量程范围宽等优点.
採用電子束蒸髮的方法在藍寶石光纖耑麵上生長ZnO薄膜,不同測試溫度下透射光譜錶明:ZnO薄膜的光學吸收邊隨溫度的升高呈明顯的紅移.根據ZnO薄膜的光學吸收邊所呈現的這一負溫度效應,研製瞭基于ZnO薄膜溫變特性的透射式光纖溫度傳感器.實驗錶明,在室溫至500℃測溫範圍內其靈敏度優于0.05 nm/℃.該光纖溫度傳感器的測溫範圍理論上可從負溫區(約-260℃)至高溫區(約700℃).與其他傳統的溫度傳感器相比,該溫度傳感器具有結構簡單,成本較低,測量穩定性高和量程範圍寬等優點.
채용전자속증발적방법재람보석광섬단면상생장ZnO박막,불동측시온도하투사광보표명:ZnO박막적광학흡수변수온도적승고정명현적홍이.근거ZnO박막적광학흡수변소정현적저일부온도효응,연제료기우ZnO박막온변특성적투사식광섬온도전감기.실험표명,재실온지500℃측온범위내기령민도우우0.05 nm/℃.해광섬온도전감기적측온범위이론상가종부온구(약-260℃)지고온구(약700℃).여기타전통적온도전감기상비,해온도전감기구유결구간단,성본교저,측량은정성고화량정범위관등우점.
