电子与封装
電子與封裝
전자여봉장
EIECTRONICS AND PACKAGING
2009年
10期
39-41
,共3页
微加工%微压阻式加速度传感器%有限元分析%硅
微加工%微壓阻式加速度傳感器%有限元分析%硅
미가공%미압조식가속도전감기%유한원분석%규
硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支,具有十分广阔的应用前景.由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作,因而在近年来发展迅速.文章首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMs技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,测试结果表明与理论设计值基本吻合.
硅微加速度傳感器是MEMS器件中的一箇重要分支,具有十分廣闊的應用前景.由于硅微加速度傳感器具有響應快、靈敏度高、精度高、易于小型化等優點,而且該種傳感器在彊輻射作用下能正常工作,因而在近年來髮展迅速.文章首先對傳感器結構及工作原理進行瞭簡單介紹,給齣瞭一種基于MEMs技術製作的壓阻式硅微加速度傳感器的結構和工藝,併對製作的加速度傳感器樣品進行瞭動態測試,測試結果錶明與理論設計值基本吻閤.
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