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SCIENCE & TECHNOLOGY INFORMATION
2012年
10期
86-87
,共2页
ZnO薄膜%溶胶—凝胶法%退火温度
ZnO薄膜%溶膠—凝膠法%退火溫度
ZnO박막%용효—응효법%퇴화온도
采用溶胶—凝胶法在ITO玻璃衬底上制备氧化锌（ZnO）薄膜,利用AFM和UV对不同退火温度的ZnO薄膜样品进行分析。经实验的表征结果分析,退火温度为500℃～700℃区间,透射率呈现先上升后下降的趋势,而禁带宽度基本保持不变。通过实验结果对比得出,当退火温度为550℃时,制备出的ZnO薄膜的结晶质量较好,表面较光滑,透射率约为90%,禁带宽度为3.25eV,
採用溶膠—凝膠法在ITO玻璃襯底上製備氧化鋅（ZnO）薄膜,利用AFM和UV對不同退火溫度的ZnO薄膜樣品進行分析。經實驗的錶徵結果分析,退火溫度為500℃～700℃區間,透射率呈現先上升後下降的趨勢,而禁帶寬度基本保持不變。通過實驗結果對比得齣,噹退火溫度為550℃時,製備齣的ZnO薄膜的結晶質量較好,錶麵較光滑,透射率約為90%,禁帶寬度為3.25eV,
채용용효—응효법재ITO파리츤저상제비양화자（ZnO）박막,이용AFM화UV대불동퇴화온도적ZnO박막양품진행분석。경실험적표정결과분석,퇴화온도위500℃～700℃구간,투사솔정현선상승후하강적추세,이금대관도기본보지불변。통과실험결과대비득출,당퇴화온도위550℃시,제비출적ZnO박막적결정질량교호,표면교광활,투사솔약위90%,금대관도위3.25eV,
