TCAD在“半导体工艺”课程中应用的教学探讨
TCAD재“반도체공예”과정중응용적교학탐토
The Application of TCAD to the Teaching of Semiconductor Technology
  • 万方数据
    扬州教育学院学报 양주교육학원학보
    JOURNAL OF YANGZHOU COLLEGE OF EDUCATION
    2013年 3期 85-88 ,共4页

    戚玉婕

    척옥첩

    TCAD%ATHENA%半导体工艺%蚀刻 TCAD%ATHENA%半導體工藝%蝕刻
    TCAD%ATHENA%반도체공예%식각
    分析了TCAD技术的主要功能,探讨其在“半导体工艺”课程教学中的应用.并以半导体工艺中的蚀刻为例,利用TCAD技术中ATHENA工艺仿真模块,对比了湿法蚀刻和干法蚀刻的特点.
    분석료TCAD기술적주요공능,탐토기재“반도체공예”과정교학중적응용.병이반도체공예중적식각위례,이용TCAD기술중ATHENA공예방진모괴,대비료습법식각화간법식각적특점.
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