光散射学报
光散射學報
광산사학보
CHINESE JOURNAL OF LIGHT SCATTERING
2013年
3期
297-301,234
,共6页
感应耦合等离子体%发射光谱%Langmuir探针%模式转换
感應耦閤等離子體%髮射光譜%Langmuir探針%模式轉換
감응우합등리자체%발사광보%Langmuir탐침%모식전환
inductively coupled plasma%optical emission spectroscopy%Langmuir probe%mode conversion
采用光谱诊断法和Langmuir单探针法对射频感应耦合Ar气等离子体特性进行分析.通过光栅光谱仪研究了低气压下Ar气等离子体的光谱强度的变化特性,采用Langmuir单探针法测量不同条件下电子密度和电子温度.等离子体发射光谱的光谱强度随着气压和功率的增加而增强,射频功率对光谱强度的影响较明显.当功率从120 W增加到180 W时,光谱强度将会迅速增加,等离子体发生E模向H模的模式转换.Langmuir单探针法测量的电子密度和电子温度在的变化规律符合E模向H模转换的变化规律.
採用光譜診斷法和Langmuir單探針法對射頻感應耦閤Ar氣等離子體特性進行分析.通過光柵光譜儀研究瞭低氣壓下Ar氣等離子體的光譜彊度的變化特性,採用Langmuir單探針法測量不同條件下電子密度和電子溫度.等離子體髮射光譜的光譜彊度隨著氣壓和功率的增加而增彊,射頻功率對光譜彊度的影響較明顯.噹功率從120 W增加到180 W時,光譜彊度將會迅速增加,等離子體髮生E模嚮H模的模式轉換.Langmuir單探針法測量的電子密度和電子溫度在的變化規律符閤E模嚮H模轉換的變化規律.
채용광보진단법화Langmuir단탐침법대사빈감응우합Ar기등리자체특성진행분석.통과광책광보의연구료저기압하Ar기등리자체적광보강도적변화특성,채용Langmuir단탐침법측량불동조건하전자밀도화전자온도.등리자체발사광보적광보강도수착기압화공솔적증가이증강,사빈공솔대광보강도적영향교명현.당공솔종120 W증가도180 W시,광보강도장회신속증가,등리자체발생E모향H모적모식전환.Langmuir단탐침법측량적전자밀도화전자온도재적변화규률부합E모향H모전환적변화규률.
