微悬臂梁阵列成像系统光学特性分析
미현비량진렬성상계통광학특성분석
The performance analysis of optical readout in micro-cantilever array IR imaging system
  • 万方数据
    四川大学学报（自然科学版） 사천대학학보（자연과학판）
    JOURNAL OF SICHUAN UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
    2009年 4期 988-992 ,共5页

    严伟%佟军民%陈大鹏%胡松%赵立新%杨勇%蒋文波%周绍林%陈旺富

    엄위%동군민%진대붕%호송%조립신%양용%장문파%주소림%진왕부

    非制冷红外成像%光学读出%双材料微梁阵列 非製冷紅外成像%光學讀齣%雙材料微樑陣列
    비제랭홍외성상%광학독출%쌍재료미량진렬
    光学读出式红外成像系统是近年来提出的一种新型红外成像技术,该技术是基于探测双材料微悬臂梁吸收红外辐射后的变形量.这种红外光学成像系统由微悬臂梁阵列和光学读出设备组成,在本文中,将首先论述其系统结构和成像原理;在此基础上,通过分析单个微梁的衍射谱在透镜谱面上空域分布特点,提出了一种改进的谱平面刀口滤波方法,特别是讨论了成像系统将热变形角度转换成图像灰度的原理以及影响因素,并深入分析了成像系统的灵敏度.最后,给出了利用本系统获得37 ℃和300 ℃温度的红外发光物体成像结果.
    광학독출식홍외성상계통시근년래제출적일충신형홍외성상기술,해기술시기우탐측쌍재료미현비량흡수홍외복사후적변형량.저충홍외광학성상계통유미현비량진렬화광학독출설비조성,재본문중,장수선논술기계통결구화성상원리;재차기출상,통과분석단개미량적연사보재투경보면상공역분포특점,제출료일충개진적보평면도구려파방법,특별시토론료성상계통장열변형각도전환성도상회도적원리이급영향인소,병심입분석료성상계통적령민도.최후,급출료이용본계통획득37 ℃화300 ℃온도적홍외발광물체성상결과.
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