CAJ | 학술논문

考察了TiN/Ti多层膜韧性对其摩擦学性能的影响.采用磁过滤阴极弧沉积的方法制备了具有不同Ti子层厚度的TiN/Ti多层膜.用透射电镜对其层状结构及子层厚度进行了观察和分析,分别用Rockwell硬度计和UMT摩擦磨损试验机,进行了压痕测试和摩擦磨损实验.结果表明,TiN/Ti多层膜中Ti子层的加人显著提高了多层膜的韧性,相对TiN单层薄膜,当载荷较大时,多层膜的耐磨性有明显的改善.结合实验结果,讨论了TiN/Ti多层膜韧性对其耐磨性的影响.
고찰료TiN/Ti다층막인성대기마찰학성능적영향.채용자과려음겁호침적적방법제비료구유불동Ti자층후도적TiN/Ti다층막.용투사전경대기층상결구급자층후도진행료관찰화분석,분별용Rockwell경도계화UMT마찰마손시험궤,진행료압흔측시화마찰마손실험.결과표명,TiN/Ti다층막중Ti자층적가인현저제고료다층막적인성,상대TiN단층박막,당재하교대시,다층막적내마성유명현적개선.결합실험결과,토론료TiN/Ti다층막인성대기내마성적영향.