微计算机信息
微計算機信息
미계산궤신식
CONTROL & AUTOMATION
2009年
25期
77-79
,共3页
陈丁%徐昌杰%陈大川%张海刚%王慧
陳丁%徐昌傑%陳大川%張海剛%王慧
진정%서창걸%진대천%장해강%왕혜
PLC%精确传输%滴胶量控制%温度控制
PLC%精確傳輸%滴膠量控製%溫度控製
PLC%정학전수%적효량공제%온도공제
为了提高硅片光刻工艺中-涂胶及软烘两操作的实验效率.减少手工操作可能带来对硅片表面的污染.系统采用机械手代替手工完成硅片在各工位之间自动化传输.硬件部分采用PLC作为控制核心部件,由步进电机、接近开关、光电开关、热电阻、电磁间等组成.详细介绍了软件控制方法,实现硅片精确传输、光刻胶用量控制、软烘温度检测等功能.
為瞭提高硅片光刻工藝中-塗膠及軟烘兩操作的實驗效率.減少手工操作可能帶來對硅片錶麵的汙染.繫統採用機械手代替手工完成硅片在各工位之間自動化傳輸.硬件部分採用PLC作為控製覈心部件,由步進電機、接近開關、光電開關、熱電阻、電磁間等組成.詳細介紹瞭軟件控製方法,實現硅片精確傳輸、光刻膠用量控製、軟烘溫度檢測等功能.
위료제고규편광각공예중-도효급연홍량조작적실험효솔.감소수공조작가능대래대규편표면적오염.계통채용궤계수대체수공완성규편재각공위지간자동화전수.경건부분채용PLC작위공제핵심부건,유보진전궤、접근개관、광전개관、열전조、전자간등조성.상세개소료연건공제방법,실현규편정학전수、광각효용량공제、연홍온도검측등공능.
