CAJ | 학술논문

采用磁控溅射的方法在蓝宝石衬底上制备了氧化铟锡(ITO)透明氧化物薄膜;研究了不同厚度薄膜的结构、光学和电学特性.经X射线衍射(XRD)测量,发现在蓝宝石衬底上生长的ITO薄膜呈现了较高的(222)择优取向;随着膜层厚度的增加,该衍射峰对应的2θ衍射角逐渐向大角度方向移动,同时该衍射峰的半峰全宽逐渐减小,平均晶粒尺寸增大.经光学透射光谱测量,发现随着膜层厚度的增加,光学透过率逐渐减小.膜层厚度为0.2 μm时,可见光透过率超过80%,当膜层厚度为0.8 μm时,可见光透过率下降到60%.电学测量结果表明,随着膜层厚度的增加,薄膜电阻率逐渐减小.膜层厚度为0.2 μm时,电阻率为9×10-4 Ω·cm, 膜层厚度为0.8 μm时,电阻率为5.5×10-4 Ω·cm.
채용자공천사적방법재람보석츤저상제비료양화인석(ITO)투명양화물박막;연구료불동후도박막적결구、광학화전학특성.경X사선연사(XRD)측량,발현재람보석츤저상생장적ITO박막정현료교고적(222)택우취향;수착막층후도적증가,해연사봉대응적2θ연사각축점향대각도방향이동,동시해연사봉적반봉전관축점감소,평균정립척촌증대.경광학투사광보측량,발현수착막층후도적증가,광학투과솔축점감소.막층후도위0.2 μm시,가견광투과솔초과80%,당막층후도위0.8 μm시,가견광투과솔하강도60%.전학측량결과표명,수착막층후도적증가,박막전조솔축점감소.막층후도위0.2 μm시,전조솔위9×10-4 Ω·cm, 막층후도위0.8 μm시,전조솔위5.5×10-4 Ω·cm.