发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2009年
5期
706-711
,共6页
曾祥耀%叶芸%袁军林%郭太良
曾祥耀%葉蕓%袁軍林%郭太良
증상요%협예%원군림%곽태량
银薄膜%磁控溅射功率%微观结构%电阻率
銀薄膜%磁控濺射功率%微觀結構%電阻率
은박막%자공천사공솔%미관결구%전조솔
场发射显示(FED)被认为是CRT的平板化,受到人们关注.作者采用直流磁控溅射法,在Al2O3过渡层上制备面心立方结构的Ag多晶薄膜.通过XRD、SEM、AFM测试分析发现,溅射功率分为两个区域,在溅射功率不高于2.8 kW时,沉积速率随着功率线性增大,得到Ag膜晶粒尺寸均一,薄膜电阻率逐步降低;溅射功率高于2.8 kW后,沉积速率没有显著增大,出现较多的大晶粒,电阻率升高,并且从理论上给出了解释.综合来看,溅射功率在2.8 kW所制备的Ag膜微观结构质量达到最佳,电阻率也达到最小值.
場髮射顯示(FED)被認為是CRT的平闆化,受到人們關註.作者採用直流磁控濺射法,在Al2O3過渡層上製備麵心立方結構的Ag多晶薄膜.通過XRD、SEM、AFM測試分析髮現,濺射功率分為兩箇區域,在濺射功率不高于2.8 kW時,沉積速率隨著功率線性增大,得到Ag膜晶粒呎吋均一,薄膜電阻率逐步降低;濺射功率高于2.8 kW後,沉積速率沒有顯著增大,齣現較多的大晶粒,電阻率升高,併且從理論上給齣瞭解釋.綜閤來看,濺射功率在2.8 kW所製備的Ag膜微觀結構質量達到最佳,電阻率也達到最小值.
장발사현시(FED)피인위시CRT적평판화,수도인문관주.작자채용직류자공천사법,재Al2O3과도층상제비면심립방결구적Ag다정박막.통과XRD、SEM、AFM측시분석발현,천사공솔분위량개구역,재천사공솔불고우2.8 kW시,침적속솔수착공솔선성증대,득도Ag막정립척촌균일,박막전조솔축보강저;천사공솔고우2.8 kW후,침적속솔몰유현저증대,출현교다적대정립,전조솔승고,병차종이론상급출료해석.종합래간,천사공솔재2.8 kW소제비적Ag막미관결구질량체도최가,전조솔야체도최소치.
