真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2013年
2期
63-70
,共8页
涂昕%满卫东%吕继磊%朱金凤
塗昕%滿衛東%呂繼磊%硃金鳳
도흔%만위동%려계뢰%주금봉
金刚石膜%化学气相沉积%光学级%研究进展
金剛石膜%化學氣相沉積%光學級%研究進展
금강석막%화학기상침적%광학급%연구진전
diamond films%CVD%optical grade%research progress
金刚石膜优异的光学性能使其成为光学窗口材料的最佳选择.天然金刚石数量稀少,价格昂贵,且为颗粒状,限制了其在光学领域的应用.化学气相沉积(CVD)金刚石膜技术的出现使得其在光学窗口材料上的应用得以实现.首先介绍了光学级CVD金刚石厚膜和薄膜的制备,随后指出了国内外光学级CVD金刚石膜的研究进展,最后进行了光学级CVD金刚石膜的前景展望.
金剛石膜優異的光學性能使其成為光學窗口材料的最佳選擇.天然金剛石數量稀少,價格昂貴,且為顆粒狀,限製瞭其在光學領域的應用.化學氣相沉積(CVD)金剛石膜技術的齣現使得其在光學窗口材料上的應用得以實現.首先介紹瞭光學級CVD金剛石厚膜和薄膜的製備,隨後指齣瞭國內外光學級CVD金剛石膜的研究進展,最後進行瞭光學級CVD金剛石膜的前景展望.
금강석막우이적광학성능사기성위광학창구재료적최가선택.천연금강석수량희소,개격앙귀,차위과립상,한제료기재광학영역적응용.화학기상침적(CVD)금강석막기술적출현사득기재광학창구재료상적응용득이실현.수선개소료광학급CVD금강석후막화박막적제비,수후지출료국내외광학급CVD금강석막적연구진전,최후진행료광학급CVD금강석막적전경전망.
