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2012年
6期
84-84
,共1页
冷坩埚%多晶硅%技术发展
冷坩堝%多晶硅%技術髮展
랭감과%다정규%기술발전
高熔点金属和高纯度化合物的合成对容器的稳定性有较高的要求，为了适应这种要求，冷坩埚技术应运而生。本文就冷坩埚原理及其在多晶硅制备中的应用进行分析，为使用冷坩埚技术处理多晶硅的应用提供理论依据与参考。
高鎔點金屬和高純度化閤物的閤成對容器的穩定性有較高的要求，為瞭適應這種要求，冷坩堝技術應運而生。本文就冷坩堝原理及其在多晶硅製備中的應用進行分析，為使用冷坩堝技術處理多晶硅的應用提供理論依據與參攷。
고용점금속화고순도화합물적합성대용기적은정성유교고적요구，위료괄응저충요구，랭감과기술응운이생。본문취랭감과원리급기재다정규제비중적응용진행분석，위사용랭감과기술처리다정규적응용제공이론의거여삼고。
