轻工科技
輕工科技
경공과기
Guangxi Journal of Light Industry
2012年
4期
28-29
,共2页
纳米TiO2薄膜%射频磁控溅射%晶体结构%表面形貌
納米TiO2薄膜%射頻磁控濺射%晶體結構%錶麵形貌
납미TiO2박막%사빈자공천사%정체결구%표면형모
采用射频磁控溅射法制备纳米TiO2薄膜。采用X射线衍射仪（XRD）、原子扫描电镜（AFM）对纳米TiO2薄膜晶体结构、表面形貌进行表征。研究了热处理对纳米TiO2薄膜晶体结构、表面形貌的影响。结果表明,热处理后TiO2颗粒变小,薄膜更加致密。热处理前TiO2薄膜没有出现晶相,呈无定型,500℃条件下热处理1h后出现锐钛矿相,升高热处理温度未出现金红石相。
採用射頻磁控濺射法製備納米TiO2薄膜。採用X射線衍射儀（XRD）、原子掃描電鏡（AFM）對納米TiO2薄膜晶體結構、錶麵形貌進行錶徵。研究瞭熱處理對納米TiO2薄膜晶體結構、錶麵形貌的影響。結果錶明,熱處理後TiO2顆粒變小,薄膜更加緻密。熱處理前TiO2薄膜沒有齣現晶相,呈無定型,500℃條件下熱處理1h後齣現銳鈦礦相,升高熱處理溫度未齣現金紅石相。
채용사빈자공천사법제비납미TiO2박막。채용X사선연사의（XRD）、원자소묘전경（AFM）대납미TiO2박막정체결구、표면형모진행표정。연구료열처리대납미TiO2박막정체결구、표면형모적영향。결과표명,열처리후TiO2과립변소,박막경가치밀。열처리전TiO2박막몰유출현정상,정무정형,500℃조건하열처리1h후출현예태광상,승고열처리온도미출현금홍석상。
