中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2009年
10期
1880-1885
,共6页
周白杨%陈梓荣%骆汉彬%毛宏英%李牣
週白楊%陳梓榮%駱漢彬%毛宏英%李牣
주백양%진재영%락한빈%모굉영%리인
Sm-Fe薄膜%离子束溅射%有限元%磁致伸缩
Sm-Fe薄膜%離子束濺射%有限元%磁緻伸縮
Sm-Fe박막%리자속천사%유한원%자치신축
Sm-Fe film%ion beam sputtering%finite element%magnetostrictive
以离子束溅射沉积(IBSD)法制备的Sm-Fe系超磁致伸缩薄膜悬臂板为研究对象,通过ANSYS有限元分析法,对超磁致伸缩薄膜/盖玻片衬底悬臂板自由端挠度值的大小进行模拟计算,并模拟Sm-Fe薄膜、Sm-Fe/Fe复合膜的内部磁化状态.结果表明:在薄膜与衬底厚度比较小的情况下,悬臂板端点挠度值随薄膜厚度的增加而线性增加,且与衬底厚度近似成二次抛物线关系,有限元分析结果与实测情况吻合较好;Sm-Fe单层膜内部磁力线分布较均匀;在Sm-Fe/Fe复合膜中,由于Fe膜的负磁场效应,使Sm-Fe膜内的磁力线分布出现不均匀的现象,且磁感应强度比Sm-Fe单层膜小.
以離子束濺射沉積(IBSD)法製備的Sm-Fe繫超磁緻伸縮薄膜懸臂闆為研究對象,通過ANSYS有限元分析法,對超磁緻伸縮薄膜/蓋玻片襯底懸臂闆自由耑撓度值的大小進行模擬計算,併模擬Sm-Fe薄膜、Sm-Fe/Fe複閤膜的內部磁化狀態.結果錶明:在薄膜與襯底厚度比較小的情況下,懸臂闆耑點撓度值隨薄膜厚度的增加而線性增加,且與襯底厚度近似成二次拋物線關繫,有限元分析結果與實測情況吻閤較好;Sm-Fe單層膜內部磁力線分佈較均勻;在Sm-Fe/Fe複閤膜中,由于Fe膜的負磁場效應,使Sm-Fe膜內的磁力線分佈齣現不均勻的現象,且磁感應彊度比Sm-Fe單層膜小.
이리자속천사침적(IBSD)법제비적Sm-Fe계초자치신축박막현비판위연구대상,통과ANSYS유한원분석법,대초자치신축박막/개파편츤저현비판자유단뇨도치적대소진행모의계산,병모의Sm-Fe박막、Sm-Fe/Fe복합막적내부자화상태.결과표명:재박막여츤저후도비교소적정황하,현비판단점뇨도치수박막후도적증가이선성증가,차여츤저후도근사성이차포물선관계,유한원분석결과여실측정황문합교호;Sm-Fe단층막내부자력선분포교균균;재Sm-Fe/Fe복합막중,유우Fe막적부자장효응,사Sm-Fe막내적자력선분포출현불균균적현상,차자감응강도비Sm-Fe단층막소.
