红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2012年
9期
2249-2252
,共4页
苏艳梅%种明%曾一平%胡小燕%于艳%孙捷%张晓燕
囌豔梅%種明%曾一平%鬍小燕%于豔%孫捷%張曉燕
소염매%충명%증일평%호소연%우염%손첩%장효연
红外探测器%量子阱%双色
紅外探測器%量子阱%雙色
홍외탐측기%양자정%쌍색
量子阱红外探测器(QWIP)阵列具有重要的实用意义.国外的研究已经相当成熟,但是在国内,量子阱红外探测器阵列的研究水平还较低,尤其是对于双色量子阱红外探测器阵列的研究更是刚刚起步.文中使用GaAs/AlGaAs、InGaAs/AlGaAs应变量子阱和三端电极引出的器件结构研制出128×128中/长波双色量子阱红外探测器阵列.该结构实现了同像元同时引出双色信号.器件像元中心距为40 μm,像元有效面积为36μm×36 μm.探测器芯片与读出电路互连并完成微杜瓦封装.在65 K条件下测试,峰值波长为:中波5.37 μm,长波8.63 μm,器件的平均峰值探测率为:中波4.75×109 cmHz1/2W-1,长波3.27×109 cmHz1/2W-1.并进行了双波段的红外演示成像.
量子阱紅外探測器(QWIP)陣列具有重要的實用意義.國外的研究已經相噹成熟,但是在國內,量子阱紅外探測器陣列的研究水平還較低,尤其是對于雙色量子阱紅外探測器陣列的研究更是剛剛起步.文中使用GaAs/AlGaAs、InGaAs/AlGaAs應變量子阱和三耑電極引齣的器件結構研製齣128×128中/長波雙色量子阱紅外探測器陣列.該結構實現瞭同像元同時引齣雙色信號.器件像元中心距為40 μm,像元有效麵積為36μm×36 μm.探測器芯片與讀齣電路互連併完成微杜瓦封裝.在65 K條件下測試,峰值波長為:中波5.37 μm,長波8.63 μm,器件的平均峰值探測率為:中波4.75×109 cmHz1/2W-1,長波3.27×109 cmHz1/2W-1.併進行瞭雙波段的紅外縯示成像.
양자정홍외탐측기(QWIP)진렬구유중요적실용의의.국외적연구이경상당성숙,단시재국내,양자정홍외탐측기진렬적연구수평환교저,우기시대우쌍색양자정홍외탐측기진렬적연구경시강강기보.문중사용GaAs/AlGaAs、InGaAs/AlGaAs응변양자정화삼단전겁인출적기건결구연제출128×128중/장파쌍색양자정홍외탐측기진렬.해결구실현료동상원동시인출쌍색신호.기건상원중심거위40 μm,상원유효면적위36μm×36 μm.탐측기심편여독출전로호련병완성미두와봉장.재65 K조건하측시,봉치파장위:중파5.37 μm,장파8.63 μm,기건적평균봉치탐측솔위:중파4.75×109 cmHz1/2W-1,장파3.27×109 cmHz1/2W-1.병진행료쌍파단적홍외연시성상.
