计量与测试技术
計量與測試技術
계량여측시기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNIQUE
2009年
11期
44-45
,共2页
叶成钢%马小军%高党忠%贾鹏
葉成鋼%馬小軍%高黨忠%賈鵬
협성강%마소군%고당충%가붕
调制薄膜薄膜的表征测量精度
調製薄膜薄膜的錶徵測量精度
조제박막박막적표정측량정도
本文介绍调制薄膜的表征及测量误差分析,主要包括调制薄膜表面形貌的观测、振幅与波长的精确测量及测量误差分析两个部分.实验结果表明,利用本文所述方法可满足对调制膜的精确测量.
本文介紹調製薄膜的錶徵及測量誤差分析,主要包括調製薄膜錶麵形貌的觀測、振幅與波長的精確測量及測量誤差分析兩箇部分.實驗結果錶明,利用本文所述方法可滿足對調製膜的精確測量.
본문개소조제박막적표정급측량오차분석,주요포괄조제박막표면형모적관측、진폭여파장적정학측량급측량오차분석량개부분.실험결과표명,이용본문소술방법가만족대조제막적정학측량.
