压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2013年
2期
212-214,217
,共4页
压电陶瓷%致动器%六边形管型%流延工艺
壓電陶瓷%緻動器%六邊形管型%流延工藝
압전도자%치동기%륙변형관형%류연공예
研究了一种异型管压电陶瓷结构器件的制备工艺方法,并用该方法制备出等效尺寸为(O)5.5mm ×57 mm×0.5 mm六边形管结构压电陶瓷致动器.结果表明,采用流延工艺薄膜缠绕成型法制备的管材尺寸范围为等效直径(O)(1～40) mm,长0～100mm,壁厚0.2～5.0 mm;(O)5.5mm×57 mm×0.5mm的六边形管结构压电陶瓷致动器可在直流(-300～+300V)范围内工作,最大可调节位移约20 μm;器件的正电压收缩滞后性明显优于负电压下的伸长滞后性,存在正负电压滞后性不对称现象；与叠层致动器相比,六边形管型致动器在抗弯曲特性、频率响应、阵列密排特性及电容特性方面具有明显的优势.
研究瞭一種異型管壓電陶瓷結構器件的製備工藝方法,併用該方法製備齣等效呎吋為(O)5.5mm ×57 mm×0.5 mm六邊形管結構壓電陶瓷緻動器.結果錶明,採用流延工藝薄膜纏繞成型法製備的管材呎吋範圍為等效直徑(O)(1～40) mm,長0～100mm,壁厚0.2～5.0 mm;(O)5.5mm×57 mm×0.5mm的六邊形管結構壓電陶瓷緻動器可在直流(-300～+300V)範圍內工作,最大可調節位移約20 μm;器件的正電壓收縮滯後性明顯優于負電壓下的伸長滯後性,存在正負電壓滯後性不對稱現象；與疊層緻動器相比,六邊形管型緻動器在抗彎麯特性、頻率響應、陣列密排特性及電容特性方麵具有明顯的優勢.
연구료일충이형관압전도자결구기건적제비공예방법,병용해방법제비출등효척촌위(O)5.5mm ×57 mm×0.5 mm륙변형관결구압전도자치동기.결과표명,채용류연공예박막전요성형법제비적관재척촌범위위등효직경(O)(1～40) mm,장0～100mm,벽후0.2～5.0 mm;(O)5.5mm×57 mm×0.5mm적륙변형관결구압전도자치동기가재직류(-300～+300V)범위내공작,최대가조절위이약20 μm;기건적정전압수축체후성명현우우부전압하적신장체후성,존재정부전압체후성불대칭현상；여첩층치동기상비,륙변형관형치동기재항만곡특성、빈솔향응、진렬밀배특성급전용특성방면구유명현적우세.
