红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2013年
2期
154-159
,共6页
郑改革%陈云云%徐林华%赖敏
鄭改革%陳雲雲%徐林華%賴敏
정개혁%진운운%서림화%뢰민
高深宽比金属光栅%表面等离子体共振传感器%严格耦合波理论
高深寬比金屬光柵%錶麵等離子體共振傳感器%嚴格耦閤波理論
고심관비금속광책%표면등리자체공진전감기%엄격우합파이론
利用纳米压印结合溅射和反应离子刻蚀工艺制备了具有高深宽比的金光栅,使用傅里叶变换红外光谱仪测得了反射谱线.测量结果显示,只在p偏振光垂直于光栅矢量方向入射条件下才存在共振反射峰,证明了“伪表面等离子体激元波”的存在.基于严格耦合波分析理论计算了金属光栅的反射率,研究了其作为中红外波段波长调制型表面等离子体共振传感器的可行性.数值计算表明负级次衍射光波对应的共振反射峰的移动能获得较高的波长灵敏度.对于深宽比为10的金光栅结构,+1级次和-3级次衍射光波对应的波长灵敏度分别为1600 nm/RIU和5000 nm/RIU,品质因子分别为20 RIU-1和60RIU-1.
利用納米壓印結閤濺射和反應離子刻蝕工藝製備瞭具有高深寬比的金光柵,使用傅裏葉變換紅外光譜儀測得瞭反射譜線.測量結果顯示,隻在p偏振光垂直于光柵矢量方嚮入射條件下纔存在共振反射峰,證明瞭“偽錶麵等離子體激元波”的存在.基于嚴格耦閤波分析理論計算瞭金屬光柵的反射率,研究瞭其作為中紅外波段波長調製型錶麵等離子體共振傳感器的可行性.數值計算錶明負級次衍射光波對應的共振反射峰的移動能穫得較高的波長靈敏度.對于深寬比為10的金光柵結構,+1級次和-3級次衍射光波對應的波長靈敏度分彆為1600 nm/RIU和5000 nm/RIU,品質因子分彆為20 RIU-1和60RIU-1.
이용납미압인결합천사화반응리자각식공예제비료구유고심관비적금광책,사용부리협변환홍외광보의측득료반사보선.측량결과현시,지재p편진광수직우광책시량방향입사조건하재존재공진반사봉,증명료“위표면등리자체격원파”적존재.기우엄격우합파분석이론계산료금속광책적반사솔,연구료기작위중홍외파단파장조제형표면등리자체공진전감기적가행성.수치계산표명부급차연사광파대응적공진반사봉적이동능획득교고적파장령민도.대우심관비위10적금광책결구,+1급차화-3급차연사광파대응적파장령민도분별위1600 nm/RIU화5000 nm/RIU,품질인자분별위20 RIU-1화60RIU-1.
