红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2013年
2期
97-101
,共5页
曹鸿%褚君浩%王善力%邬云骅%张传军
曹鴻%褚君浩%王善力%鄔雲驊%張傳軍
조홍%저군호%왕선력%오운화%장전군
碲锌镉%薄膜%射频磁控溅射%带隙
碲鋅鎘%薄膜%射頻磁控濺射%帶隙
제자력%박막%사빈자공천사%대극
Cd1-xZnxTe%thin films%RF magnetron sputtering%band gap
采用Cd096Zn0.04Te靶,利用射频磁控溅射制备碲锌镉薄膜,通过改变基片温度、溅射功率和工作气压,制得不同的碲锌镉薄膜.将制备的碲锌镉薄膜放置在高纯空气气氛中,在473 K温度下退火.利用台阶仪、分光光度计、XRD和SEM测试设备表征,结果表明,通过退火和改变沉积参数,可以制备出禁带宽度在1.45～2.02eV之间调节的碲锌镉薄膜.
採用Cd096Zn0.04Te靶,利用射頻磁控濺射製備碲鋅鎘薄膜,通過改變基片溫度、濺射功率和工作氣壓,製得不同的碲鋅鎘薄膜.將製備的碲鋅鎘薄膜放置在高純空氣氣氛中,在473 K溫度下退火.利用檯階儀、分光光度計、XRD和SEM測試設備錶徵,結果錶明,通過退火和改變沉積參數,可以製備齣禁帶寬度在1.45～2.02eV之間調節的碲鋅鎘薄膜.
채용Cd096Zn0.04Te파,이용사빈자공천사제비제자력박막,통과개변기편온도、천사공솔화공작기압,제득불동적제자력박막.장제비적제자력박막방치재고순공기기분중,재473 K온도하퇴화.이용태계의、분광광도계、XRD화SEM측시설비표정,결과표명,통과퇴화화개변침적삼수,가이제비출금대관도재1.45～2.02eV지간조절적제자력박막.
