兰州交通大学学报
蘭州交通大學學報
란주교통대학학보
JOURNAL OF LANZHOU JIAOTONG UNIVERSITY（Natural Sciences）
2013年
3期
62-65
,共4页
孔令刚%范多旺%王成兵%令晓明
孔令剛%範多旺%王成兵%令曉明
공령강%범다왕%왕성병%령효명
选择性吸收涂层%平板集热器%工艺过程控制%真空连续镀膜
選擇性吸收塗層%平闆集熱器%工藝過程控製%真空連續鍍膜
선택성흡수도층%평판집열기%공예과정공제%진공련속도막
selective absorption coating%flat collector%process control%vacuum continuous coating
介绍了自行研制的国内首条宽幅(1 250 mm)“空到空、卷对卷”结构连续真空镀膜生产线,并在铜(铝)带材上连续沉积钛基选择性吸收涂层.通过反应气体的分压控制,实现多级溅射法制备多层膜系过程中各单层膜厚和组分的精确控制,强化了吸收层间的干涉效应,改善了涂层的光学性能,同时保证了工艺过程的稳定性和可重复性,涂层的吸收率为(95±2)％,发射率为(5±2)％.
介紹瞭自行研製的國內首條寬幅(1 250 mm)“空到空、捲對捲”結構連續真空鍍膜生產線,併在銅(鋁)帶材上連續沉積鈦基選擇性吸收塗層.通過反應氣體的分壓控製,實現多級濺射法製備多層膜繫過程中各單層膜厚和組分的精確控製,彊化瞭吸收層間的榦涉效應,改善瞭塗層的光學性能,同時保證瞭工藝過程的穩定性和可重複性,塗層的吸收率為(95±2)％,髮射率為(5±2)％.
개소료자행연제적국내수조관폭(1 250 mm)“공도공、권대권”결구련속진공도막생산선,병재동(려)대재상련속침적태기선택성흡수도층.통과반응기체적분압공제,실현다급천사법제비다층막계과정중각단층막후화조분적정학공제,강화료흡수층간적간섭효응,개선료도층적광학성능,동시보증료공예과정적은정성화가중복성,도층적흡수솔위(95±2)％,발사솔위(5±2)％.
