中国集成电路
中國集成電路
중국집성전로
CHINA INTEGRATED CIRCUIT
2013年
4期
57-61
,共5页
李宏伟%程惠娟%苗萌%陈捷
李宏偉%程惠娟%苗萌%陳捷
리굉위%정혜연%묘맹%진첩
静电放电%硅控整流器
靜電放電%硅控整流器
정전방전%규공정류기
本文主要针对用于ESD防护的SCR结构进行了研究.通过对其ESD泄放能力和工作机理的研究,为纳米工艺下的IC设计提供ESD保护.本文的研究主要集中在两种常见的SCR上,低触发电压SCR(LVTSCR)与二极管辅助触发SCR (DTSCR).本文也对以上两种SCR结构进行了改进,使得其能够在不同工作环境和相应电压域下达到相应的ESD防护等级.本文的测试与分析基于传输线脉冲测试仪(TLP)与TCAD仿真进行,通过对SCR中的正反馈工作机理的阐述,证明了SCR结构是一种新颖有效的ESD防护器件.
本文主要針對用于ESD防護的SCR結構進行瞭研究.通過對其ESD洩放能力和工作機理的研究,為納米工藝下的IC設計提供ESD保護.本文的研究主要集中在兩種常見的SCR上,低觸髮電壓SCR(LVTSCR)與二極管輔助觸髮SCR (DTSCR).本文也對以上兩種SCR結構進行瞭改進,使得其能夠在不同工作環境和相應電壓域下達到相應的ESD防護等級.本文的測試與分析基于傳輸線脈遲測試儀(TLP)與TCAD倣真進行,通過對SCR中的正反饋工作機理的闡述,證明瞭SCR結構是一種新穎有效的ESD防護器件.
본문주요침대용우ESD방호적SCR결구진행료연구.통과대기ESD설방능력화공작궤리적연구,위납미공예하적IC설계제공ESD보호.본문적연구주요집중재량충상견적SCR상,저촉발전압SCR(LVTSCR)여이겁관보조촉발SCR (DTSCR).본문야대이상량충SCR결구진행료개진,사득기능구재불동공작배경화상응전압역하체도상응적ESD방호등급.본문적측시여분석기우전수선맥충측시의(TLP)여TCAD방진진행,통과대SCR중적정반궤공작궤리적천술,증명료SCR결구시일충신영유효적ESD방호기건.
