电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2013年
4期
49-54
,共6页
陈仲武%宋文超%张伟锋%刘永进
陳仲武%宋文超%張偉鋒%劉永進
진중무%송문초%장위봉%류영진
金属膜剥离%自动传输系统%剥离清洗腔体%CCD中心定位%电气控制%软件系统
金屬膜剝離%自動傳輸繫統%剝離清洗腔體%CCD中心定位%電氣控製%軟件繫統
금속막박리%자동전수계통%박리청세강체%CCD중심정위%전기공제%연건계통
主要介绍了JBQ-3200型全自动金属膜剥离清洗系统设备功能、用途、结构组成、性能指标、主要特点,以及解决的关键技术和应用,能自动完成厚度在0.25～0.7 mm的φ100～φ200 mm具有基准边的标准圆片微细图形金属膜剥离、清洗和甩干工艺,剥离线宽能做到0.35 μm以上,是声表面波(SAW)器件、GaAs微波、毫米波器件、MEMS器件、OLED器件和先进封装等器件制造工艺中的关键设备.
主要介紹瞭JBQ-3200型全自動金屬膜剝離清洗繫統設備功能、用途、結構組成、性能指標、主要特點,以及解決的關鍵技術和應用,能自動完成厚度在0.25～0.7 mm的φ100～φ200 mm具有基準邊的標準圓片微細圖形金屬膜剝離、清洗和甩榦工藝,剝離線寬能做到0.35 μm以上,是聲錶麵波(SAW)器件、GaAs微波、毫米波器件、MEMS器件、OLED器件和先進封裝等器件製造工藝中的關鍵設備.
주요개소료JBQ-3200형전자동금속막박리청세계통설비공능、용도、결구조성、성능지표、주요특점,이급해결적관건기술화응용,능자동완성후도재0.25～0.7 mm적φ100～φ200 mm구유기준변적표준원편미세도형금속막박리、청세화솔간공예,박리선관능주도0.35 μm이상,시성표면파(SAW)기건、GaAs미파、호미파기건、MEMS기건、OLED기건화선진봉장등기건제조공예중적관건설비.
