电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2013年
4期
15-18,54
,共5页
多线切割机%轴辊温度控制%智能PID
多線切割機%軸輥溫度控製%智能PID
다선절할궤%축곤온도공제%지능PID
多线切割机轴辊温度对于硅片表面质量,尤其是翘曲度有较大的影响.传统的PID控制方法由于其局限性难以满足实际生产的要求.提出一种智能PID温度控制方案,模拟人的控制策略及方法,结合经典PID方案进行轴辊温度控制.该方法简单有效、工作可靠,满足半导体用多线切割机的要求,并在实际工作中成功应用.
多線切割機軸輥溫度對于硅片錶麵質量,尤其是翹麯度有較大的影響.傳統的PID控製方法由于其跼限性難以滿足實際生產的要求.提齣一種智能PID溫度控製方案,模擬人的控製策略及方法,結閤經典PID方案進行軸輥溫度控製.該方法簡單有效、工作可靠,滿足半導體用多線切割機的要求,併在實際工作中成功應用.
다선절할궤축곤온도대우규편표면질량,우기시교곡도유교대적영향.전통적PID공제방법유우기국한성난이만족실제생산적요구.제출일충지능PID온도공제방안,모의인적공제책략급방법,결합경전PID방안진행축곤온도공제.해방법간단유효、공작가고,만족반도체용다선절할궤적요구,병재실제공작중성공응용.
