仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2012年
11期
7-9
,共3页
肖友文%景涛%谢贵久%张建国%王玉明%章良
肖友文%景濤%謝貴久%張建國%王玉明%章良
초우문%경도%사귀구%장건국%왕옥명%장량
薄膜%钯铬%氢气传感器
薄膜%鈀鉻%氫氣傳感器
박막%파락%경기전감기
文中介绍了采用Pd-Cr合金作为氢敏材料,利用MEMS加工技术制备薄膜型氢气传感器.测试了传感器对0～4％浓度范围氢气的敏感特性,结果显示,传感器对0～4％氢气浓度具有良好的线性输出特性,并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性.
文中介紹瞭採用Pd-Cr閤金作為氫敏材料,利用MEMS加工技術製備薄膜型氫氣傳感器.測試瞭傳感器對0～4％濃度範圍氫氣的敏感特性,結果顯示,傳感器對0～4％氫氣濃度具有良好的線性輸齣特性,併錶現齣較高的響應靈敏度和較好的響應重複性.
문중개소료채용Pd-Cr합금작위경민재료,이용MEMS가공기술제비박막형경기전감기.측시료전감기대0～4％농도범위경기적민감특성,결과현시,전감기대0～4％경기농도구유량호적선성수출특성,병표현출교고적향응령민도화교호적향응중복성.
