CAJ | 학술논문

工业生产中普遍采用液态三氯氢磷(POCl3)作为多晶硅太阳电池的扩散磷源.研究了各种工艺参数对扩散方块电阻的大小及均匀性的影响.结果表明:提高扩散温度、增加主扩散时间、减小再分布时间、增加小氮流量、减小大氮流量,可以减小方块电阻；合理设置炉管内的温度分布、适当增加大氮流量,可以改善方块电阻的均匀性；氧气流量对方块电阻影响不大.得到了一组优化的扩散工艺参数,测得方块电阻为55.1Ω/□,片内极差为5.6％,片间极差为3.1％.
공업생산중보편채용액태삼록경린(POCl3)작위다정규태양전지적확산린원.연구료각충공예삼수대확산방괴전조적대소급균균성적영향.결과표명:제고확산온도、증가주확산시간、감소재분포시간、증가소담류량、감소대담류량,가이감소방괴전조；합리설치로관내적온도분포、괄당증가대담류량,가이개선방괴전조적균균성；양기류량대방괴전조영향불대.득도료일조우화적확산공예삼수,측득방괴전조위55.1Ω/□,편내겁차위5.6％,편간겁차위3.1％.