真空
真空
진공
VACUUM
2013年
1期
20-22
,共3页
潘玉鹏%黄美东%薛利%刘野%许世鹏
潘玉鵬%黃美東%薛利%劉野%許世鵬
반옥붕%황미동%설리%류야%허세붕
多弧离子镀%TiN薄膜%偏压%沉积速率
多弧離子鍍%TiN薄膜%偏壓%沉積速率
다호리자도%TiN박막%편압%침적속솔
采用多弧离子镀设备在抛光后的高速钢表面沉积TiN薄膜,在其他参数不变的情况下,着重考察偏压对薄膜的沉积速率的影响.实验结果表明,随着负偏压的增加,沉积速率不断增加,但在负偏压达到一定值后,沉积速率又随偏压增大而减小.
採用多弧離子鍍設備在拋光後的高速鋼錶麵沉積TiN薄膜,在其他參數不變的情況下,著重攷察偏壓對薄膜的沉積速率的影響.實驗結果錶明,隨著負偏壓的增加,沉積速率不斷增加,但在負偏壓達到一定值後,沉積速率又隨偏壓增大而減小.
채용다호리자도설비재포광후적고속강표면침적TiN박막,재기타삼수불변적정황하,착중고찰편압대박막적침적속솔적영향.실험결과표명,수착부편압적증가,침적속솔불단증가,단재부편압체도일정치후,침적속솔우수편압증대이감소.
