真空
真空
진공
VACUUM
2013年
1期
15-19
,共5页
溅射深度剖析%MRI模型%择优溅射效应%深度分辨率
濺射深度剖析%MRI模型%擇優濺射效應%深度分辨率
천사심도부석%MRI모형%택우천사효응%심도분변솔
择优溅射是深度剖析实验中导致所测量元素的成分分布偏离实际的一个重要因素.本文首先在广泛应用于溅射深度剖析定量分析的MRI模型基础上,引入了一个描述择优溅射效应的参数,推导出了这个参数对所测量的深度剖面引起改变的一个解析式,并定量地模拟了择优溅射效应在深度剖析中对深度剖面形状和深度分辨率的影响.最后,应用拓展的MRI模型,定量分析了Ar+和N2+溅射Ni/Cr多层膜所得到的AES深度剖析数据,比较了相应的择优溅射比率和深度分辨率.
擇優濺射是深度剖析實驗中導緻所測量元素的成分分佈偏離實際的一箇重要因素.本文首先在廣汎應用于濺射深度剖析定量分析的MRI模型基礎上,引入瞭一箇描述擇優濺射效應的參數,推導齣瞭這箇參數對所測量的深度剖麵引起改變的一箇解析式,併定量地模擬瞭擇優濺射效應在深度剖析中對深度剖麵形狀和深度分辨率的影響.最後,應用拓展的MRI模型,定量分析瞭Ar+和N2+濺射Ni/Cr多層膜所得到的AES深度剖析數據,比較瞭相應的擇優濺射比率和深度分辨率.
택우천사시심도부석실험중도치소측량원소적성분분포편리실제적일개중요인소.본문수선재엄범응용우천사심도부석정량분석적MRI모형기출상,인입료일개묘술택우천사효응적삼수,추도출료저개삼수대소측량적심도부면인기개변적일개해석식,병정량지모의료택우천사효응재심도부석중대심도부면형상화심도분변솔적영향.최후,응용탁전적MRI모형,정량분석료Ar+화N2+천사Ni/Cr다층막소득도적AES심도부석수거,비교료상응적택우천사비솔화심도분변솔.
