数字技术与应用
數字技術與應用
수자기술여응용
DIGITAL TECHNOLOGY AND APPLICATION
2014年
2期
68-68,70
,共2页
MEMS开关%电容式%Ka频段
MEMS開關%電容式%Ka頻段
MEMS개관%전용식%Ka빈단
设计了一种应用于Ka频段的并联电容式MEMS开关,该开关利用表面牺牲层工艺制备,具有低损耗、高隔离度等特点。经测试,开关在Ka频段内,回波损耗优于30dB,插入损耗典型值-0.13dB@27GHz,优于-0.28dB@40GHz,隔离度全频段优于22dB,驱动电压在50V~70V范围。
設計瞭一種應用于Ka頻段的併聯電容式MEMS開關,該開關利用錶麵犧牲層工藝製備,具有低損耗、高隔離度等特點。經測試,開關在Ka頻段內,迴波損耗優于30dB,插入損耗典型值-0.13dB@27GHz,優于-0.28dB@40GHz,隔離度全頻段優于22dB,驅動電壓在50V~70V範圍。
설계료일충응용우Ka빈단적병련전용식MEMS개관,해개관이용표면희생층공예제비,구유저손모、고격리도등특점。경측시,개관재Ka빈단내,회파손모우우30dB,삽입손모전형치-0.13dB@27GHz,우우-0.28dB@40GHz,격리도전빈단우우22dB,구동전압재50V~70V범위。
