硅MEMS器件键合强度在线检测方法
규MEMS기건건합강도재선검측방법
On-Line Examination Method of Bonding Strength Measurement in Silicon MEMS Devices
  • 万方数据
    微纳电子技术 미납전자기술
    MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
    2009年 12期 758-763 ,共6页

    李仁锋%马凯%郑英彬%袁明权%施志贵%吴嘉丽

    리인봉%마개%정영빈%원명권%시지귀%오가려

    微电子机械系统%阳极键合%键合强度%微结构%在线检测 微電子機械繫統%暘極鍵閤%鍵閤彊度%微結構%在線檢測
    미전자궤계계통%양겁건합%건합강도%미결구%재선검측
    键合强度是MEMS器件研制中一个重要的工艺质量参数,键合强度检测对器件的可靠性具有十分重要的作用.为了获得MEMS器件制造工艺中的键合强度,提出了一种键合强度在线检测方法,并基于MEMS又指式器件工艺介绍了一种新型键合强度检测结构;借助于材料力学的相关知识,推导出了键合强度计算公式,经过工艺实验,获得了键合强度检测数据;对获得的不同键合面积的键合强度加以对比,指出这些数据的较小差异,是由刻度盘最小刻度误差和尺度效应造成的.结合叉指式器件的工作环境,认为这种方法获得的键合强度更接近实际的工作情况.
    건합강도시MEMS기건연제중일개중요적공예질량삼수,건합강도검측대기건적가고성구유십분중요적작용.위료획득MEMS기건제조공예중적건합강도,제출료일충건합강도재선검측방법,병기우MEMS우지식기건공예개소료일충신형건합강도검측결구;차조우재료역학적상관지식,추도출료건합강도계산공식,경과공예실험,획득료건합강도검측수거;대획득적불동건합면적적건합강도가이대비,지출저사수거적교소차이,시유각도반최소각도오차화척도효응조성적.결합차지식기건적공작배경,인위저충방법획득적건합강도경접근실제적공작정황.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문