微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2009年
12期
739-743,749
,共6页
陈营端%高杨%白竹川%刘婷婷
陳營耑%高楊%白竹川%劉婷婷
진영단%고양%백죽천%류정정
RF MEMS%SAW谐振器%叉指换能器(IDT)%ANSYS软件%建模与仿真
RF MEMS%SAW諧振器%扠指換能器(IDT)%ANSYS軟件%建模與倣真
RF MEMS%SAW해진기%차지환능기(IDT)%ANSYS연건%건모여방진
为描述声表面波的传播状态,利用ANSYS软件对声表面波(SAW)谐振器进行了仿真.在对声表面波产生机理和SAW谐振器工作原理分析的基础上,建立了SAW谐振器仿真模型,讨论了网格划分不同对仿真结果精度的影响,得出了在每个SAW波长尺寸内划分30～40个网格可以得到较精确的仿真结果.对不同长度声孔径的声表面波谐振器进行了仿真分析,得出了声表面波只在固体表面1～2个波长深度范围内传播的仿真效果图,与理论分析有很好的一致性.最后对IDT/ZnO/金刚石/Si结构的声表面波器件进行了仿真,得出该结构声表面波器件SAW传播速度与ZnO的厚度成反比,其大小是IDT/ZnO结构器件SAW传播速度的2～3倍.
為描述聲錶麵波的傳播狀態,利用ANSYS軟件對聲錶麵波(SAW)諧振器進行瞭倣真.在對聲錶麵波產生機理和SAW諧振器工作原理分析的基礎上,建立瞭SAW諧振器倣真模型,討論瞭網格劃分不同對倣真結果精度的影響,得齣瞭在每箇SAW波長呎吋內劃分30～40箇網格可以得到較精確的倣真結果.對不同長度聲孔徑的聲錶麵波諧振器進行瞭倣真分析,得齣瞭聲錶麵波隻在固體錶麵1～2箇波長深度範圍內傳播的倣真效果圖,與理論分析有很好的一緻性.最後對IDT/ZnO/金剛石/Si結構的聲錶麵波器件進行瞭倣真,得齣該結構聲錶麵波器件SAW傳播速度與ZnO的厚度成反比,其大小是IDT/ZnO結構器件SAW傳播速度的2～3倍.
위묘술성표면파적전파상태,이용ANSYS연건대성표면파(SAW)해진기진행료방진.재대성표면파산생궤리화SAW해진기공작원리분석적기출상,건립료SAW해진기방진모형,토론료망격화분불동대방진결과정도적영향,득출료재매개SAW파장척촌내화분30～40개망격가이득도교정학적방진결과.대불동장도성공경적성표면파해진기진행료방진분석,득출료성표면파지재고체표면1～2개파장심도범위내전파적방진효과도,여이론분석유흔호적일치성.최후대IDT/ZnO/금강석/Si결구적성표면파기건진행료방진,득출해결구성표면파기건SAW전파속도여ZnO적후도성반비,기대소시IDT/ZnO결구기건SAW전파속도적2～3배.
